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3.3.2 ラジアルシール開発状況

ラジアルシールの原理を図3.4に示す。内側、外側締結のいずれの場合も固定部品側に金属シール材をセットし、テーパーを持った対向フランジが接触面を移動しながら圧縮を行なう。開発中の構造は、外テーパー(外側締付)タイプのものである。と同時に試験として内テーパー型でもそのシール性能を確認するテストを行なっている。

この方法による真空フランジのメリットは、テーパーを持つプラグまたはカプラフランジのビームライン軸に沿った動作だけで着脱、締め付けが可能である。また、テーパー角によって金属シールに対する圧縮力が金属シールの定格締め付け圧力の数分の1に小さくすることが出来る点である。しかし、デメリットとして対向フランジ型と違って上下流のフランジ形状はプラグとカップラーの区別が生じてしまう。この点に関しては、例えば裏表にプラグ−プラグのフランジを持つジョイントフランジを用意することで、装置側は常にカプラーフランジを持つ真空ビームダクトを設置すれば対処できる。 現在、テーパー面により金属シール材が巻きこまれてしまうのを抑えるため、表皮硬度の調査を進めている。

ここで述べられているラジアルシールについての参考文献は[3]を参照のこと。

図 3.4: ラジアルシール締結の原理
radialseal.jpg


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Yoshinori Sato
平成14年9月11日