3.2.4 試験結果

Heリークテストをベローズ及びダイヤフラム内圧$2~kg/cm^{2}$と$3~kg/cm^{2}$で測定した。しかし、結果は中間排気のない場合真空度がそれぞれ1.5 torrと0.55 torrまでしか到達出来ず、シール性能が不十分であった。

次に、中間排気を行った場合の真空度の向上性を試験した。 ダイヤフラムの内側をターボ分子ポンプ(50l/s)で排気し、ダイヤフラムの中間排気にはロータリーポンプを使用した。中間排気が行われた場合は $5\times 10^{-5}$ torrと明らかに向上した結果が得られた。また、Heリークレートは中間排気時、約 $1.4\times 10^{-4}~torr\cdot {\it l}/sec$であった。しかし、設計性能を満たすに至らなかった。 そのため、次の点を検討の上、再度、製作を行なった。

1. SUSホイル溶接時に生じるベースフランジの歪みを抑える。 　
2. 更に、ダイヤフラムと対向フランジとの面圧の均一性を上げるために、対向面バイト仕上げ指示を6.3 sから0.8 sにする。同時に、シール表面の仕上げ精度もあげる。