3.2.3 KEK仕様ピローシールの製作、試験

当初は、両面ピロー機能を有するフランジを目指し、次のような仕様で製作した。

表 3.1: KEKピローシールの仕様

ダイヤフラム内径(パイプ有効径)	$\phi 250~mm$
ダイヤフラム外径	$\phi 350~mm$
ベローズ自由長	47 mm
可動長	$42\sim 52~mm$
到達真空度	$1\times 10^{-6}~torr$以下
Heリークテスト	$1\times 10^{-8}~torr\cdot {\it l}/sec$以下
ダイヤフラム	SUS 304-t200 $\mu$m

図 3.2: KEKピローシールフランジ

ピローシール面を構成する材質の選択は、まず、強い放射線環境における腐食ガス等による劣化、繰り返し使用するための耐久性とSUSベースフランジへの溶接し易さなどを考慮してSUSホイルを選んだ。ホイルの厚さは、ベースフランジとの溶接による歪が生じない程度の厚さ200 $\mu m$である。ピロー及びベローズを膨らますために必要な空気圧は、空気圧縮器で容易に使用できるよう$3.0~kg/cm^{2}$とした。