3.2.5 K6ビームライン設置機

Heリークテストをベローズ部分及びシール部分について実施した。ベローズ部分について全溶接部に関して $1.4\times 10^{-10}~torr\cdot {\it l}/sec$以下であった。また、シール部分は内圧$3.0~kg/cm^{2}$において $2.8\times 10^{-8}~torr\cdot {\it l}/sec$であった。ベローズ内圧を$4.5~kg/cm^{2}$にすることでHeリークレートが約1/5にできることから、グリースを使用した状態、、または、シール材表面を銀蒸着する、インジウムコーティグするなどで一応目標のリークレートに達するであろうと推定した。現在、K6ビームラインに設置されている。1992年2月より使用を開始し、約10年間運転している。脱着の使用限度回数は、加圧ベローズの耐久性の1000回で制限される。ダイヤフラム部分は面シールを採用しているので現在の環境下ではそれ以上の耐久性を持つと考えられる。

ここで述べられているピローシールについての参考文献は[2]を参照のこと。